一种多晶硅涂胶后的自动压紧装置

基本信息

申请号 CN201911406888.8 申请日 -
公开(公告)号 CN110993745B 公开(公告)日 2021-07-06
申请公布号 CN110993745B 申请公布日 2021-07-06
分类号 H01L31/18;F16B11/00 分类 基本电气元件;
发明人 郑军;周清;俞峰 申请(专利权)人 上海赛摩电气有限公司
代理机构 南京中高专利代理有限公司 代理人 潘甦昊
地址 200000 上海市宝山区蕴川路4515号未来已来科技园3号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种多晶硅涂胶后的自动压紧装置,目的是解决多晶硅涂胶后压紧工序中自动化程度低,无法准确控制胶层厚度的问题,该装置的安装架包括上料机构、压紧机构以及随行工装,随行工装上设置有涂胶后的多晶硅,随行工装包括工装座板和侧压部,随行工装的工装座板安装在上料机构的上方,侧压部固定安装在工装座板上,侧压部的活动端与多晶硅的侧面弹性抵触;第一联动板的第一部与伸缩部固定连接,第一安装板上凸出设有第一导轨,第一联动板滑动设置在第一导轨上,伸缩部的伸缩杆将侧压部的活动端从多晶硅侧面拉开后,压紧机构对多晶硅进行施压,压紧机构的压合力可调。本发明具有自动化程度高,降低产品不良率,保证安全生产的作用。