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一种硅片玻璃钝化前的清洗方法

基本信息

申请号	CN202010472723.7	申请日	-
公开（公告）号	CN112242294A	公开（公告）日	2021-01-19
申请公布号	CN112242294A	申请公布日	2021-01-19
分类号	H01L21/02;H01L21/67;B08B3/04;B08B3/08;B08B3/10	分类	基本电气元件;
发明人	耿开远	申请（专利权）人	济宁东方芯电子科技有限公司
代理机构	青岛发思特专利商标代理有限公司	代理人	卢登涛
地址	272100 山东省济宁市兖州区兖颜路路北天齐庙村村西
法律状态	-

摘要

本发明属于半导体元件技术领域，具体涉及一种硅片玻璃钝化前的清洗方法，包括如下步骤：（1）硅片首先采用sc‑1清洗液、sc‑2清洗液依次进行清洗；（2）将步骤（1）清洗后的硅片置于盛有磷酸的石英方缸中，在温度为80±5℃条件下加热5‑20分钟，加热过程中硅片上下或者左右晃动，清洗完成后取出用去离子水冲洗20‑30分钟，冲洗后硅片置于甩干机甩干。本发明在SC‑1、SC‑2清洗后后增加磷酸清洗，利用微观的磷残留，在玻璃粉高温烧结过程中，磷的吸杂特性和固定电荷作用，可有效弥补前期缺陷或者异常电荷，保护产品电特性，同时提高产品漏电水平，优化了产品性能，在同款可控硅产品验证中，平均漏电流由0.67uA下降至0.59uA，漏电流减小，提高产品漏电水平，优化了产品性能。