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一种UV膜模板及利用UV膜模板实现洁净玻璃钝化的方法

基本信息

申请号 CN202010473422.6 申请日 -
公开（公告）号 CN111816574A 公开（公告）日 2020-10-23
申请公布号 CN111816574A 申请公布日 2020-10-23
分类号 H01L21/56(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 耿开远 申请（专利权）人 济宁东方芯电子科技有限公司
代理机构 青岛发思特专利商标代理有限公司 代理人 济宁东方芯电子科技有限公司
地址 272100山东省济宁市兖州区兖颜路路北天齐庙村村西
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于半导体技术领域，具体涉及一种UV膜模板及利用UV膜模板实现洁净玻璃钝化的方法，UV膜模板，包括UV膜，UV膜上设有若干段镂空区，相邻镂空区端部之间形成UV膜连接区。本发明利用了UV膜自身有粘性粘贴到硅片表面，刮涂时采用镂空区对玻璃进行选择性填入芯片槽，芯片槽填充后除去UV膜模板，可彻底清除残留的玻璃粉，解决了现有技术中刮涂玻璃钝化时硅片表面清洁不净的技术问题；本发明获得了良好的玻璃钝化效果，可以非常好的保护PN结界面；本发明玻璃有效地保护到了上沿，避免了光刻胶涂布不好的问题。