一种化学气相共沉积与渗透尾气处理装置
基本信息
| 申请号 | CN200420073083.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN2716284Y | 公开（公告）日 | 2005-08-10 |
| 申请公布号 | CN2716284Y | 申请公布日 | 2005-08-10 |
| 分类号 | C23C16/44;B01D53/78 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 邱海鹏;韩立军;王冬;商凯东 | 申请（专利权）人 | 锦州市三特真空冶金技术工业有限公司 |
| 代理机构 | 中国航空专利中心 | 代理人 | 中国航空工业第一集团公司北京航空制造工程研究所;锦州市三特真空冶金技术工业有限公司 |
| 地址 | 100024北京市朝阳区八里桥 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于复合材料制造设备领域，涉及对化学气相共沉积与渗透设备使用的尾气处理装置的改进。本实用新型的特征在于，通过管路依次将水冷过滤器、冷冻过滤器、复合过滤器、真空泵、碱液过滤器和放空燃烧结构串联为四级尾气处理装置，本实用新型结构简单；操作方便；尾气处理能力强；可同时或单独对化学气相沉积与渗透工艺的尾气煤焦油和氯化氢进行处理。 |
