一种硅片用自动清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN201821791277.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209205921U | 公开（公告）日 | 2019-08-06 |
| 申请公布号 | CN209205921U | 申请公布日 | 2019-08-06 |
| 分类号 | B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 拜鹏;周雷雷;冯瑞;兰晶 | 申请（专利权）人 | 西安烽火光伏科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 西安弘理专利事务所 | 代理人 | 西安烽火光伏科技股份有限公司 |
| 地址 | 710077 陕西省西安市高新区锦业路125号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种硅片用自动清洗装置，包括承载板以及安装架，所述安装架安置于承载板上壁面，且侧壁面安装有动态清洗结构，所述承载板上壁面且位于动态清洗结构下方安装有超声震动结构，本实用新型涉及硅片清洗技术领域，通过动态清洗结构实现了硅片的动态清洗过程，通过超声震动结构使得清洗的更加彻底，通过上述结构的相互配合，实现了硅片自动动态清洗的功能。 |
