一种半导体器件清洗控制系统及控制方法
基本信息
| 申请号 | CN201911209917.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110729222A | 公开（公告）日 | 2020-01-24 |
| 申请公布号 | CN110729222A | 申请公布日 | 2020-01-24 |
| 分类号 | H01L21/67;H01L21/02 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 夏昊;包晶 | 申请（专利权）人 | 扬州晶新微电子有限公司 |
| 代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄启兵 |
| 地址 | 225000 江苏省扬州市鸿大路29号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于半导体器件清洗技术领域，具体涉及一种半导体器件清洗控制系统及控制方法。系统包括总开关、加热电路、开关电源，开关电源依次连接有开关组和排气阀组，排气阀组进气端连接有压空阀组件，排气阀组出气端连接有执行阀组，排气阀组控制执行阀组的开闭。用于解决传统清洗机控制系统维修保养成本高的问题；本发明使用的配件方便购买容易获取，成本更低；在后期使用过程中存在器件老化损坏等情况出现时，维护费用较少，更换较方便。 |
