一种增粘剂的涂布装置
基本信息
| 申请号 | CN202121253265.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214670078U | 公开（公告）日 | 2021-11-09 |
| 申请公布号 | CN214670078U | 申请公布日 | 2021-11-09 |
| 分类号 | G03F7/16（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 龚雪玲;陈宇;高孝琴 | 申请（专利权）人 | 扬州晶新微电子有限公司 |
| 代理机构 | 南京源点知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄启兵 |
| 地址 | 225000江苏省扬州市鸿大路29号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种增粘剂的涂布装置包括：容器、片架、器皿，容器开设有内腔，容器上分别设置有进气管与出气管，片架设置于内腔中，片架用于放置硅片，器皿设置于内腔中，器皿用于盛放增粘剂。通过排气管对内腔中排气，使得内腔呈负压状态，增粘剂在负压环境中挥发后，被微量吸附在硅片表面，从而起到降低增粘剂用量并实现在硅片表面涂覆增粘剂的目的。 |
