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一种半导体制造用干泵控制系统

基本信息

申请号 CN202021438421.X 申请日 -
公开（公告）号 CN212774698U 公开（公告）日 2021-03-23
申请公布号 CN212774698U 申请公布日 2021-03-23
分类号 F04B49/06(2006.01)I;F04B51/00(2006.01)I 分类 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵;
发明人 夏昊 申请（专利权）人 扬州晶新微电子有限公司
代理机构 北京轻创知识产权代理有限公司 代理人 黄启兵
地址 225000江苏省扬州市鸿大路29号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于半导体设备控制技术领域，尤其涉及一种半导体制造用干泵控制系统。包括主回路、控制回路及与主回路连接的开关电源SMPS；主回路包括依次连接的交流接触器KZ、热继电器KZR以及并联的第一支路和第二支路，控制回路包括第一控制支路和第二控制支路，控制回路还包括与主回路连接的电源控制支路。用于解决控制模块损坏后无法得到有效补充更换的问题。利用电源控制支路控制主回路电源的通断，利用第一控制支路和第二控制支路分别控制主回路中的第一支路和第二支路的通断，实现干泵的正常控制运行，结构连接简单，整体可靠，损坏后易检修，零件易更换方便维修，避免了整体式控制模块损坏后无法及时修复和更换补充。