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Rogers平板电容及其制备方法

基本信息

申请号	CN201510968157.8	申请日	-
公开（公告）号	CN105428067B	公开（公告）日	2018-07-03
申请公布号	CN105428067B	申请公布日	2018-07-03
分类号	H01G4/33	分类	基本电气元件;
发明人	洪火锋;窦增昌;王秀平;赵影;何宏玉;李明	申请（专利权）人	中科迪高微波系统有限公司
代理机构	北京润平知识产权代理有限公司	代理人	安徽华东光电技术研究所;中科迪高微波系统有限公司;安徽华东光电技术研究所有限公司
地址	241000 安徽省芜湖市高新技术产业开发区华夏科技园
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种Rogers平板电容及其制备方法，该制备方法包括：1)将基片依次经过丙酮溶液、去油液进行清洗，然后经过酸洗液进行酸洗；2)将基片进行光刻处理；3)将光刻处理后的基片的表面进行电镀处理；4)将基片的表面上的未变性的感光胶通过去胶液进行去胶处理；5)将去胶处理后的基片通过铜刻蚀液进行刻蚀处理；6)将刻蚀处理后的基片进行清洗以制得Rogers平板电容；其中，去油液含有碳酸钠、磷酸钠和乳化剂，酸洗液含有硫酸和三氧化铬；铜刻蚀液含有三氧化铬、氯化钠、硫酸和水；去胶液为碱液；基片为Rogers覆铜板。通过该方法制得的Rogers平板电容具有精确的平板电容的数值，并且该制备方法成本低廉且能够批量生产。