机械抛光过程的建模仿真方法及装置

基本信息

申请号 CN201611093954.7 申请日 -
公开(公告)号 CN106363468B 公开(公告)日 2018-06-08
申请公布号 CN106363468B 申请公布日 2018-06-08
分类号 B24B1/04;B24B41/00;G06F17/50 分类 磨削;抛光;
发明人 占俊峰 申请(专利权)人 苏州辛德斯机器人技术有限公司
代理机构 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 苏州辛德斯机器人系统工程有限公司;苏州托玛斯自动化科技有限公司;苏州托玛斯机器人集团有限公司
地址 215000 江苏省苏州市吴中经济开发区迎春南路112号1幢101室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例提供的一种机械抛光过程的建模仿真方法及装置,涉及超精密制造领域,所述方法包括获取表征抛光工具的第一操作对象、表征工件的第二操作对象、表征抛光液的第三操作对象以及表征所述抛光液中磨粒的第四操作对象;分别获取第一、二、三及四操作对象的物理特性数据;建立表征机械抛光过程的固液耦合模型;基于所述固液耦合模型、第一操作对象的第一运动参数、第二操作对象的第二运动参数以及预设的仿真时间段,进行仿真,并获取所述第二操作对象的受力数据以及所述第四操作对象的速度数据;然后获得第一数据以及第二数据;分析且对比第一数据,获得第一运动参数以及第二运动参数,以便在实际机械抛光过程中提高抛光效率。