一种叠层金属和金属氧化物蚀刻液组合物及其使用方法
基本信息
| 申请号 | CN202110239107.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113046747A | 公开（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申请公布号 | CN113046747A | 申请公布日 | 2021-06-29 |
| 分类号 | C23F1/18;C23F1/26;C23F1/44;C09K13/08 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 徐帅;张红伟;李闯;胡天齐;钱铁民 | 申请（专利权）人 | 江苏和达电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海微策知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汤俊明 |
| 地址 | 620010 四川省眉山市彭山经济开发区创新二路中段8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种叠层金属和金属氧化物蚀刻液组合物及其使用方法，原料包括：按质量百分数计，过氧化氢5‑20％，无机酸1‑10％，氟离子源0.01‑1％，络合剂1‑10％，碱类化合物1‑10％，金属缓蚀剂0.01‑1％，溶剂补充余量。本发明提供一种叠层金属和金属氧化物蚀刻液组合物及其使用方法不仅能有效蚀刻叠层金属和金属氧化物，而且蚀刻形貌好，蚀刻精度高，能有效满足客户的要求。 |
