一种环保低成本含钛金属蚀刻液组合物及其使用方法
基本信息
| 申请号 | CN202110124106.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112921321A | 公开（公告）日 | 2021-06-08 |
| 申请公布号 | CN112921321A | 申请公布日 | 2021-06-08 |
| 分类号 | C23F1/18;C23F1/44 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 徐帅;张红伟;李闯;胡天齐;钱铁民 | 申请（专利权）人 | 江苏和达电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海微策知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汤俊明 |
| 地址 | 620010 四川省眉山市彭山经济开发区创新二路中段8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种环保低成本含钛金属蚀刻液组合物及其使用方法，蚀刻液包括主剂和辅剂，其中主剂组分按主剂的质量百分数计包括：过氧化氢1‑20％，强氧化性酸1‑10％，碱类化合物1‑10％，过氧化氢稳定剂0.01‑5％，氨基唑类化合物0.01‑2％，去离子水补充余量；辅剂组分按辅剂的质量百分数计包括：强氧化性酸1‑20％，碱类化合物1‑20％，氨基唑类化合物0.01‑2％，去离子水补充余量。本发明制作的蚀刻液组合物，无氟无磷，环境友好，废液处理成本较低，具有较高的铜离子负载能力，蚀刻得到的金属具有良好的蚀刻形貌，可满足超高精细、中小尺寸显示产品的生产要求。 |
