一种钛合金蚀刻液组合物及其使用方法
基本信息
申请号 | CN202110160013.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112981404A | 公开(公告)日 | 2021-06-18 |
申请公布号 | CN112981404A | 申请公布日 | 2021-06-18 |
分类号 | C23F1/26 | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 徐帅;张红伟;李闯;胡天齐;钱铁民 | 申请(专利权)人 | 江苏和达电子科技有限公司 |
代理机构 | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 汤俊明 |
地址 | 620010 四川省眉山市彭山经济开发区创新二路中段8号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种钛合金蚀刻液组合物及其使用方法。所述组合物包括主剂和辅剂。本发明通过主剂和辅剂相互配合,选用特定质量含量不同的化合物或其组合,与不同金属或金属氧化物发生化学反应,使其变为可溶性的金属盐,具备较高的铜离子负载能力,能够达到良好的蚀刻形貌。 |
