一种钛合金蚀刻液组合物及其使用方法

基本信息

申请号 CN202110160013.5 申请日 -
公开(公告)号 CN112981404A 公开(公告)日 2021-06-18
申请公布号 CN112981404A 申请公布日 2021-06-18
分类号 C23F1/26 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 徐帅;张红伟;李闯;胡天齐;钱铁民 申请(专利权)人 江苏和达电子科技有限公司
代理机构 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 汤俊明
地址 620010 四川省眉山市彭山经济开发区创新二路中段8号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种钛合金蚀刻液组合物及其使用方法。所述组合物包括主剂和辅剂。本发明通过主剂和辅剂相互配合,选用特定质量含量不同的化合物或其组合,与不同金属或金属氧化物发生化学反应,使其变为可溶性的金属盐,具备较高的铜离子负载能力,能够达到良好的蚀刻形貌。