磁传感器以及电流传感器
基本信息
申请号 | CN201510097626.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN104730474B | 公开(公告)日 | 2018-07-24 |
申请公布号 | CN104730474B | 申请公布日 | 2018-07-24 |
分类号 | G01R33/07;G01R19/00 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 钟小军 | 申请(专利权)人 | 上海兴工微电子有限公司 |
代理机构 | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 上海兴工微电子有限公司 |
地址 | 201204 上海市浦东新区张江高科技园区毕升路289弄8号101室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种磁传感器以及电流传感器。所述磁传感器包括半导体衬底,设置于半导体衬底表面的第一磁敏元件、第二磁敏元件、第三磁敏元件和第四磁敏元件,每个磁敏元件上各自设置一对偏置电极和一对采样电极,所述偏置电极用于在磁敏元件上引入一偏置电流,所述采样电极用于采样由所述偏置电流和一环境磁场共同作用而产生的一霍尔电压,所述四个磁敏元件上的偏置电流方向依次呈90度角。本发明的优点在于,通过设置多个磁敏元件,彼此的电流呈现90角,能够降低磁敏元件自身由于扩散角度不一致,厚薄不一致而造成的偏差。 |
