实现基板正交传送的真空搬运装置及其搬运方法
基本信息
| 申请号 | CN201410239802.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105448767B | 公开（公告）日 | 2018-02-13 |
| 申请公布号 | CN105448767B | 申请公布日 | 2018-02-13 |
| 分类号 | H01L21/67;H01L21/677 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐升东 | 申请（专利权）人 | 理想能源设备（上海）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201203 上海市松江区思贤路3255号3幢403室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种实现基板正交传送的真空搬运装置及其搬运方法，一方面通过由滚珠花键、交错轴齿轮机构、旋转平移转向机构三者共同组成的一个传动机构来控制基板在某一方向的运动情况，另一方面通过另一传动机构来控制基板在与该方向垂直的另一方向上的运动情况，从而使得该真空搬运装置能够在真空搬运腔体内实现进行长距离的平移和优良的密封效果，同时又保证了基板传送中的高精度和高可靠性。 |
