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基板校准方法与装置

基本信息

申请号 CN201410629052.5 申请日 -
公开（公告）号 CN105575868B 公开（公告）日 2018-12-07
申请公布号 CN105575868B 申请公布日 2018-12-07
分类号 H01L21/68 分类 基本电气元件;
发明人 徐升东 申请（专利权）人 理想能源设备（上海）有限公司
代理机构 上海恒锐佳知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 上海理想万里晖薄膜设备有限公司
地址 201620 上海市松江区思贤路3255号3幢403室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明的基板校准装置用于校准薄膜沉积进出片腔中的基板，所述进出片腔具有顶部、底部、顶部与底部之间的侧壁及位于底部正上方用以承载基板的升降装置，所述底部正下方设置有用以升降所述升降装置的动力装置，所述顶部设置有基板校准装置，所述基板校准装置包括驱动机构、传动机构、导向杆，所述驱动机构驱动传动机构运动，所述导向杆临近所述传动机构的一端设置有滚轮装置，所述导向杆远离所述传动机构的一端设置有校准机构，所述滚轮装置随着所述传动机构的运动而运动，进而带动所述校准机构随着所述传动机构的运动而在导向杆上移动。本发明的基板校准机构可移动的对失准基板不同的方向同时驱使基板至预定基准位置，压力小，基板不易损坏。