一种负载传输装置与方法
基本信息
| 申请号 | CN201410692428.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105702611B | 公开（公告）日 | 2018-09-07 |
| 申请公布号 | CN105702611B | 申请公布日 | 2018-09-07 |
| 分类号 | H01L21/677;H01L21/687;H01L21/673;H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 马悦;胡兵 | 申请（专利权）人 | 理想能源设备（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海恒锐佳知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 理想能源设备（上海）有限公司;理想晶延半导体设备（上海）有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江居里路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种负载传输装置，包括反应腔、传输腔、基板和机械手。上述反应腔内设置有基座；机械手位于传输腔中，机械手设置有支撑部，用于将所述基板在所述传输腔与所述反应腔之间传输。上述传输腔内设置有第一承载区、第二承载区和位于所述第一承载区、第二承载区之间的中间层区，上述的至少一个反应腔通过一传输门与传输腔连通或分隔。上述第一承载区设置有第一支架，第一承载区还包括第一放置轴、第一抓取轴与第一传输轴。上述第二承载区设置有第二支架，第二承载区还包括第二放置轴、第二抓取轴与第二传输轴。本发明的负载传输装置工作尺寸较小，结构紧凑，有效解决现有技术中存在的占地面积大，维护时间长，生产效率低的问题。 |
