芯片生产用视觉检测标定装置
基本信息
| 申请号 | CN202111282354.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114034719A | 公开（公告）日 | 2022-02-11 |
| 申请公布号 | CN114034719A | 申请公布日 | 2022-02-11 |
| 分类号 | G01N21/956（2006.01）I;B41J3/413（2006.01）I;B41J2/47（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 周晓辉;袁博 | 申请（专利权）人 | 算筹（深圳）信息科技有限公司 |
| 代理机构 | 济南誉琨知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 高云云 |
| 地址 | 518000广东省深圳市福田区福田街道福安社区益田路5033号平安金融中心71层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于芯片生产应用技术领域，尤其涉及一种芯片生产用视觉检测标定装置。包括工作台以及设置在工作台上的十字滑台，所述十字滑台的两侧分别设置有进料输送机构和出料输送机构，所述十字滑台的上方设置有视觉检测标定机构，所述十字滑台的前端设置有转运机械手，所述十字滑台远离转运机械手的一端设置有固定架，所述视觉检测标定机构通过固定架设置在十字滑台的上方，与现有技术相比，本发明的优点和积极效果在于，本发明利用激光打标机配合工业相机的设置，有效提高整个芯片视觉检测过程中标记效率，同时，本发明可以在现有的设备上进行改进，适合大规模推广使用。 |
