一种带补偿电极的面内平动式加速度计
基本信息
| 申请号 | CN201910565814.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110308308A | 公开（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申请公布号 | CN110308308A | 申请公布日 | 2021-07-13 |
| 分类号 | G01P15/125 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 邹波;刘爽;郑青龙 | 申请（专利权）人 | 深迪半导体（绍兴）有限公司 |
| 代理机构 | 上海智晟知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 杨飞 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区自由贸易试验区龙东大道3000号1号楼裙楼208室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种电容式加速度计，其包括基底、质量块和固定锚点，所述固定锚点固定在所述基底和所述质量块之间，使两者间形成间隔；所述质量块包括第一质量块、第二质量块和第三质量块；所述第三质量块与所述固定锚点连接；所述第二质量块与所述第三质量块通过第一弹性件连接，从而使所述第二质量块能够面内转动；所述第一质量块与所述第二质量块通过第二弹性件连接，所述第二弹性件适于当所述第二质量块发生所述面内转动时，带动所述第一质量块做相对于所述基底的平动。 |
