一种共享质量块的三轴电容式加速度计
基本信息
| 申请号 | CN201811635414.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109444467A | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN109444467A | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | G01P15/125;G01P15/18 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 邹波 | 申请（专利权）人 | 深迪半导体（绍兴）有限公司 |
| 代理机构 | 上海智晟知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 陆黎明 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区自由贸易试验区龙东大道3000号1号楼裙楼208室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种共享质量块的三轴电容式加速度计，包括：质量块，质量块被设置为：能够在三个轴向平动；基底，质量块相对基底进行平动；固定锚点，固定锚点将质量块连接至基底；检测电容，其电容值随着质量块的平动而发生变化。实现三个轴向平动的关键是通过两段式的刚性梁连接。与传统的加速度计敏感方式相比，本发明提供的加速度计大幅度提高了传感器的敏感度。同时，结合合成电容的检测方式，进一步大幅度地降低芯片的面积，降低产品的生产成本。 |
