MEMS惯性传感器及应用方法和电子设备
基本信息
申请号 | CN202010126245.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111208317A | 公开(公告)日 | 2021-07-02 |
申请公布号 | CN111208317A | 申请公布日 | 2021-07-02 |
分类号 | G01P15/125;G01P15/18;G01L1/14;G01L9/12;G01C19/00 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 邹波;刘爽;黄岩 | 申请(专利权)人 | 深迪半导体(绍兴)有限公司 |
代理机构 | 上海剑秋知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨飞 |
地址 | 201203 上海市浦东新区环桥路555弄28号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了MEMS惯性传感器及应用方法和电子设备,包括一种加速度计的应用方法,其基于所述加速度计在外力作用下产生的应变对其检测信号的影响,将所述检测信号也用于反映外力作用;还包括一种陀螺仪的应用方法,其基于所述陀螺仪在外力作用下产生的应变对其检测信号的影响,将所述检测信号也用于反映外力作用;还包括使用上述方法的电子设备。 |
