一种三轴加速计

基本信息

申请号 CN201610743205.8 申请日 -
公开(公告)号 CN107782914A 公开(公告)日 2021-07-09
申请公布号 CN107782914A 申请公布日 2021-07-09
分类号 G01P15/125;G01P15/18 分类 测量;测试;
发明人 邹波;郑青龙 申请(专利权)人 深迪半导体(绍兴)有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 罗满
地址 201203 上海市浦东新区自由贸易试验区龙东大道3000号1号楼A栋306室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种三轴加速计,包括具有沿Y轴方向设置的两个凹槽的质量块,两个所述凹槽贯穿所述质量块的上下两个端面,且所述凹槽沿X轴方向以及Y轴方向均对称;所述质量块通过分别设置于两个所述凹槽的组合梁连接于固定锚点。上述三轴加速计,能够大幅提高传感器的敏感度,缩小敏感质量,还能够减小三轴加速计的面积。