一种三轴加速计
基本信息
申请号 | CN201610743205.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN107782914A | 公开(公告)日 | 2021-07-09 |
申请公布号 | CN107782914A | 申请公布日 | 2021-07-09 |
分类号 | G01P15/125;G01P15/18 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 邹波;郑青龙 | 申请(专利权)人 | 深迪半导体(绍兴)有限公司 |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 罗满 |
地址 | 201203 上海市浦东新区自由贸易试验区龙东大道3000号1号楼A栋306室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种三轴加速计,包括具有沿Y轴方向设置的两个凹槽的质量块,两个所述凹槽贯穿所述质量块的上下两个端面,且所述凹槽沿X轴方向以及Y轴方向均对称;所述质量块通过分别设置于两个所述凹槽的组合梁连接于固定锚点。上述三轴加速计,能够大幅提高传感器的敏感度,缩小敏感质量,还能够减小三轴加速计的面积。 |
