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一种冷却板的钎焊结构及其制造工艺

基本信息

申请号	CN202010316820.7	申请日	-
公开（公告）号	CN111644719A	公开（公告）日	2020-09-11
申请公布号	CN111644719A	申请公布日	2020-09-11
分类号	B23K1/00(2006.01)I	分类	机床；不包含在其他类目中的金属加工;
发明人	牛建新;戴峰泽;叶云霞;任旭东;石小辉	申请（专利权）人	托伦斯半导体设备启东有限公司
代理机构	南京正联知识产权代理有限公司	代理人	托伦斯半导体设备启东有限公司;江苏大学
地址	226200江苏省南通市启东经济开发区南苑西路1455号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种冷却板的钎焊结构及其制造工艺，包括基板、钎焊料和盖板。基板开设有外围方形凸台、冷却槽和梯形凸台；盖板开设有外围方形凹槽和内部方形凹槽；外围方形凸台被钎焊表面包围；梯形凸台底部的宽度b1比内部方形凹槽的宽度b2小0.05~0.1mm，梯形凸台侧面与竖直面的角度θ为10~15°；基板的外围方形凸台插入到盖板的外围方形凹槽内；基板的梯形凸台插入到盖板的内部方形凹槽内。在基板和盖板表面生成耐腐蚀耐高温的涂层；然后采用脉冲激光清洗所有与钎焊料接触的表面，以提高焊接质量；最后进行真空钎焊。本发明可以大幅度延长冷却板的使用寿命，防止制造过程中的冷却槽堵塞，提高冷却效果。可应用于功率半导体的冷却。