一种阳极封孔堵头及其密封方法
基本信息
| 申请号 | CN201911023160.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111300031A | 公开（公告）日 | 2020-06-19 |
| 申请公布号 | CN111300031A | 申请公布日 | 2020-06-19 |
| 分类号 | B23P21/00(2006.01)I;F16J15/02(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 程石涛;牛建新;戴峰泽;叶云霞;任旭东 | 申请（专利权）人 | 托伦斯半导体设备启东有限公司 |
| 代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 托伦斯半导体设备启东有限公司;江苏大学 |
| 地址 | 226200江苏省南通市启东经济开发区南苑西路1455号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种阳极封孔堵头其密封方法，具体为一种真空插板开关阀的密封结构，包括升降轴、气缸、阀门、密封垫和阀体；升降轴上安装有四个气缸；气缸的活动端安装有阀门；阀门的右端加工有燕尾止口；阀门的右端安装有密封圈，密封圈的密封面为平面型密封面；阀体的左端设有微织构密封面；密封状态时，密封圈的平面型密封面与阀体的微织构密封面相接触；四个气缸均匀分布于阀门的四个角点，且正对于密封圈。本发明大幅度提高了真空插板开关阀的密封效果和可靠性，可应用于半导体刻蚀反应腔的密封。 |
