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一种半导体领域腔室部件表面涂层装置

基本信息

申请号 CN202121085062.9 申请日 -
公开（公告）号 CN215141246U 公开（公告）日 2021-12-14
申请公布号 CN215141246U 申请公布日 2021-12-14
分类号 B05B13/02（2006.01）I;B05B15/25（2018.01）I 分类 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 莫任福 申请（专利权）人 托伦斯半导体设备启东有限公司
代理机构 常州佰业腾飞专利代理事务所（普通合伙） 代理人 李嘉宁
地址 226200江苏省南通市启东经济开发区南苑西路1455号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种半导体领域腔室部件表面涂层装置，包括底部安装板，所述底部安装板上设置有上部支撑柱，所述上部支撑柱上设置有控制箱，所述控制箱上设置有若干个显示表盘，所述控制箱上在位于显示表盘的侧面位置设置有调节旋钮，所述控制箱的侧面位置设置有枪头，所述底部安装板的侧面位置设置有原料桶，所述原料桶上端位置设置有桶盖，所述桶盖的中部位置设置有一号轴承，所述一号轴承内设置有转动杆。本实用新型所述的一种半导体领域腔室部件表面涂层装置，属于喷涂装置领域，通过设置的转动杆等结构对原料进行搅拌，使得沉淀的原料成分再次混合均匀，且通过弧形固定板等结构固定住连接管，避免损伤连接管，使其使用更为方便。