一种晶圆的夹持装置
基本信息
| 申请号 | CN202121716141.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215266255U | 公开（公告）日 | 2021-12-21 |
| 申请公布号 | CN215266255U | 申请公布日 | 2021-12-21 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 胡跃明;杜娟;刘海明;袁鹏;罗中良;郭爱军;覃明鲜;赵英齐 | 申请（专利权）人 | 广东瑞谷光网通信有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 韩静粉 |
| 地址 | 523000广东省东莞市长安镇上沙社区福康路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及夹具技术领域，尤其涉及一种晶圆的夹持装置。夹持装置包括驱动组件、第一转动架、第二转动架和加工台；所述加工台的两侧均转动设置有活动板，所述第一转动架和所述第二转动架的一端均连接在所述驱动组件的输出端，所述第一转动架和所述第二转动架的另一端与对应侧的所述活动板连接；所述加工台上开设有凹槽，所述凹槽内间隔设置有多个吸盘，所述吸盘用于支撑晶圆，两个所述活动板相互配合用于固定晶圆。本实施例的夹持装置能够增强晶圆夹持的稳定性和可靠性，使得晶圆不会从夹持装置掉落。 |
