一种基板作业平台及基板作业平台的控制方法
基本信息
| 申请号 | CN202110517204.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113387132A | 公开（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申请公布号 | CN113387132A | 申请公布日 | 2021-09-14 |
| 分类号 | B65G35/00（2006.01）I;B65G47/22（2006.01）I;G02F1/13（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 沈洪星;刘晏;石斌;熊海军;赵叶军;宋晓波 | 申请（专利权）人 | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 代理机构 | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁睿 |
| 地址 | 230013安徽省合肥市新站区龙子湖路与荆山路交口西南 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体领域，公开一种基板作业平台及基板作业平台的控制方法，该基板作业平台，包括：用于承载基板的承载台，所述承载台具有若干个开口区，所述开口区任意组合形成用于承载至少两种规格基板的承载区；与所述开口区对应的气流调节组件，所述气流调节组件可单独控制与其对应的开口区的气流状况。用于实现不同规格基板运送，并且解决基板在运送过程中发生翘曲问题。 |
