一种汽化器

基本信息

申请号 CN202022360709.6 申请日 -
公开(公告)号 CN214271020U 公开(公告)日 2021-09-24
申请公布号 CN214271020U 申请公布日 2021-09-24
分类号 C23C14/24(2006.01)I;C23C14/26(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 金薰;曹景博;褚蓉蓉 申请(专利权)人 合肥欣奕华智能机器有限公司
代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司 代理人 孙小明
地址 230013安徽省合肥市新站区龙子湖路与荆山路交口西南
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及汽化器领域,公开了一种汽化器,该汽化器包括:汽化器主体;外壳,外壳设于汽化器主体外侧,且外壳与汽化器主体间形成用于容纳流体的容纳腔,示例性的,该流体可以水或者矿物油;容纳腔具有输入口和输出口,且输入口与输出口设于容纳腔的相对两侧;用于调节容纳腔内流体温度的温度控制系统,温度控制系统通过连接管路与容纳腔的输入口以及容纳腔的输出口连接,以在容纳腔与温度控制系统间形成流体的流动通道;设于流动通道的流体泵,流体泵用于使流体在容纳腔内沿容纳腔的输入口至容纳腔的输出口方向流动。上述汽化器通过改变内部结构设计,可以提高汽化器内部温度均匀性,从而可以保证蒸镀工艺的均匀性以及避免设备堵塞。