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一种连接模块及蒸镀产线

基本信息

申请号	CN202022360728.9	申请日	-
公开（公告）号	CN214300317U	公开（公告）日	2021-09-28
申请公布号	CN214300317U	申请公布日	2021-09-28
分类号	C23C14/24（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	李明振;褚蓉蓉	申请（专利权）人	合肥欣奕华智能机器有限公司
代理机构	北京同达信恒知识产权代理有限公司	代理人	孙小明
地址	230013安徽省合肥市新站区龙子湖路与荆山路交口西南
法律状态	-

摘要

本申请涉及OLED蒸镀技术领域，公开了一种连接模块及蒸镀产线，连接模块包括：用于连通相邻的第一传送模块和第二传送模块的移送腔室，以及与移送腔室连通的排出腔室，移送腔室内设有用于将玻璃从第一传送模块移送至第二传送模块的第一传送装置；排出腔室具有与外部连通的出口以及用于使得出口呈开启或关闭状态的门；以及用于将位于移送腔室内的玻璃移送至排出腔室的第二传送装置，且当第二传送装置位于排出腔室时，第二传送装置与排出腔室配合以使得排出腔室与移送腔室之间无气体流动，当第二传送装置处于移动状态或位于移送腔室时，排出腔室为真空状态。本申请中的连接模块，能够在蒸镀工艺过程中将玻璃基板排出外部，并且不影响蒸镀的进度。