一种镀膜机

基本信息

申请号 CN202010053715.9 申请日 -
公开(公告)号 CN111235544A 公开(公告)日 2020-06-05
申请公布号 CN111235544A 申请公布日 2020-06-05
分类号 C23C14/56(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 彭建林;诸葛挺 申请(专利权)人 深圳市博能自动化设备有限公司
代理机构 深圳众鼎汇成知识产权代理有限公司 代理人 深圳市博能自动化设备有限公司
地址 518000广东省深圳市坪山区坪山街道金田路294-2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种镀膜机,包括真空腔体、回转机构、镀膜辊系机构和镀膜机构,在第一镀膜冷却辊位于第一靶位且第二镀膜冷却辊位于第二靶位时,第二收放卷件释放的基材依次缠绕在第二镀膜冷却辊以及第一镀膜冷却辊上,再由第一收放卷件进行收卷;在回转机构带动第一镀膜冷却辊旋转至第二靶位时,第一收放卷件释放的基材依次缠绕在第一镀膜冷却辊以及第二镀膜冷却辊上,再由第二收放卷件进行收卷。本发明提供的镀膜机,基材的正面镀上第一镀膜部件和第二镀膜部件上的靶材,基材的反面也镀上第一镀膜部件和第二镀膜部件上的靶材,在不需要打开真空腔体就能够实现单腔体镀膜机的基材的双面上同时镀上不同的材料且能减少耗时。