一种光源波长扫描光谱共焦传感器

基本信息

申请号 CN202110366573.6 申请日 -
公开(公告)号 CN113108696A 公开(公告)日 2021-07-13
申请公布号 CN113108696A 申请公布日 2021-07-13
分类号 G01B11/02(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 董宁;曹桂平;王雪 申请(专利权)人 合肥埃科光电科技股份有限公司
代理机构 合肥天明专利事务所(普通合伙) 代理人 苗娟
地址 230088安徽省合肥市高新区燕子河路388号亿智科技产业园1号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明的一种光源波长扫描光谱共焦传感器,包括可调谐滤波器和光纤环形器;宽谱光源发出的连续光,经过可调谐滤波器后变成单色光,其波长通过可调谐滤波器进行精细控制;单色光耦合到Y型光纤环形器的输入端A,并从另一端光纤C点输出;从C点出射的单色点光源经过色散镜头汇聚到光轴上,不同波长的光汇聚点不同,行成一条色散焦线;当被测物体表面位于色散焦线上时,光被表面反射,再经过色散透镜,被光纤C点接收,进而从光纤环形器B端输出,被光强探测器探测到。本发明利用锁相放大器可以有效抑制背景光的干扰,通过控制光源波长,可以只在满足共焦条件的峰值波长点附近进行扫描,也可通过变步长搜索峰值波长,获得较高的分辨率和测量速度。