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一种光源波长扫描光谱共焦传感器

基本信息

申请号	CN202110366573.6	申请日	-
公开（公告）号	CN113108696A	公开（公告）日	2021-07-13
申请公布号	CN113108696A	申请公布日	2021-07-13
分类号	G01B11/02（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	董宁;曹桂平;王雪	申请（专利权）人	合肥埃科光电科技股份有限公司
代理机构	合肥天明专利事务所（普通合伙）	代理人	苗娟
地址	230088安徽省合肥市高新区燕子河路388号亿智科技产业园1号楼
法律状态	-

摘要

本发明的一种光源波长扫描光谱共焦传感器，包括可调谐滤波器和光纤环形器；宽谱光源发出的连续光，经过可调谐滤波器后变成单色光，其波长通过可调谐滤波器进行精细控制；单色光耦合到Y型光纤环形器的输入端A，并从另一端光纤C点输出；从C点出射的单色点光源经过色散镜头汇聚到光轴上，不同波长的光汇聚点不同，行成一条色散焦线；当被测物体表面位于色散焦线上时，光被表面反射，再经过色散透镜，被光纤C点接收，进而从光纤环形器B端输出，被光强探测器探测到。本发明利用锁相放大器可以有效抑制背景光的干扰，通过控制光源波长，可以只在满足共焦条件的峰值波长点附近进行扫描，也可通过变步长搜索峰值波长，获得较高的分辨率和测量速度。