一种拼接型陶瓷靶材
基本信息
| 申请号 | CN202023303456.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214458284U | 公开（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申请公布号 | CN214458284U | 申请公布日 | 2021-10-22 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 周其刚;李宪民;侯金明 | 申请（专利权）人 | 南京欧美达应用材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人 | 董建林 |
| 地址 | 211102江苏省南京市江宁经济技术开发区殷巷铺岗街379号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种拼接型陶瓷靶材，包括多个固定在背板上的陶瓷靶材片，两片相邻的陶瓷靶材片的接触面上设有形状相吻合从而能将两片相邻的陶瓷靶材片拼接在一起的拼接边；两个相邻陶瓷靶材片中的其中一个陶瓷靶材片的拼接边倒置，另一陶瓷靶材片的拼接边向上设置在向下设置的拼接边的下方，从而使所述两个相邻的陶瓷靶材片贴合在一起；所述拼接边包括第一拼接边，所述第一拼接边的形状为中心对称的倒S形，所述第一拼接边上设有相适应的凹槽和凸起。本实用新型的陶瓷靶材片采用拼接边拼接，与现有技术的拼接相比不存在贯穿的缝隙，有利于提高产品质量。 |
