炉体移动式高纯晶体生长装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

炉体移动式高纯晶体生长装置

基本信息

申请号	CN201120147026.0	申请日	-
公开（公告）号	CN202072808U	公开（公告）日	2011-12-14
申请公布号	CN202072808U	申请公布日	2011-12-14
分类号	C30B35/00(2006.01)I;C30B29/46(2006.01)I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	李照存	申请（专利权）人	昆明沃特尔机电设备有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	650031 云南省昆明市东风东路86号
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种炉体移动式高纯晶体生长装置，包括机架、安瓿、炉体和控制装置，所述的机架立柱上设置丝杠和纵向导轨，所述的丝杠同轴连接丝杠电机，所述的纵向导轨与滑座动配合，滑座上设置炉体；所述的炉体内设置炉芯，炉芯内同轴连接炉膛；所述的炉体下方的机座之间设置安瓿控制装置，所述的安瓿控制装置上设置驱动电机和安瓿旋转轴，两者通过同步带实现动力传动；所述的安瓿旋转轴连接安瓿支杆，安瓿支杆顶端设置安瓿，安瓿同轴连接于炉膛中轴线上；炉体下端设置与安瓿支杆动密封配合的炉体密封门。本实用新型的安瓿震幅小于1微米，高温恒温区温度不均匀性≤±1.5℃，低温恒温区温度不均匀性≤±2℃，设备持续工作时间不低于30天，无故障时间大于2年。