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一种晶体生长炉之炉体垂直度高效调整装置

基本信息

申请号 CN201621428646.0 申请日 -
公开（公告）号 CN206319084U 公开（公告）日 2017-07-11
申请公布号 CN206319084U 申请公布日 2017-07-11
分类号 C30B35/00 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 李照存 申请（专利权）人 昆明沃特尔机电设备有限公司
代理机构 昆明知道专利事务所（特殊普通合伙企业） 代理人 昆明沃特尔机电设备有限公司
地址 650000 云南省昆明市盘龙区龙泉街道兴龙社区落索坡村310号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶体生长炉之炉体垂直度高效调整装置，包括炉罩、炉体和炉座，所述的炉体下端设置于炉体座上，所述的炉罩设置在炉座上，所述的炉体之炉口塞端与炉口塞热封式配合，所述的炉体座为可调式结构，炉体座与炉座之间可调式支撑配合。本实用新型通过数个炉体调节装置之间三点对称式布置配合调节炉体座，在不停炉的情况下，即可实现实时调整，进而使得设置在炉体座上的炉体的炉芯始终保持平衡，保证处于炉芯内的长晶杆周围的温场均匀，使晶体生长不受影响，提高了长晶质量，延长了晶体生长炉的使用寿命。