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一种有效防止炉膛冷点的加热模块

基本信息

申请号 CN201611207398.1 申请日 -
公开（公告）号 CN106757375A 公开（公告）日 2017-05-31
申请公布号 CN106757375A 申请公布日 2017-05-31
分类号 C30B35/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 李照存 申请（专利权）人 昆明沃特尔机电设备有限公司
代理机构 昆明知道专利事务所（特殊普通合伙企业） 代理人 昆明沃特尔机电设备有限公司
地址 650000 云南省昆明市盘龙区龙泉街道兴龙社区落索坡村310号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种有效防止炉膛冷点的加热模块，包括保温护罩和设置在保温护罩内壁上的电热合金丝，所述电热合金丝的两端分别引出埋藏在保温护罩两端内的上电极和下电极，上电极和下电极的自由端分别连接引出电极。本发明把上电极和下电极设计成特殊的U形或C形，引出电极开槽形成弓字形，利用自身发热的特性，同时降低其热导性，消除生长炉温场由于电极引出产生的“冷点”，大大提高了炉膛温场的径向温度均匀性，解决了单晶的生长在径向横截面的温度不均匀问题。而每个加热模块可独立温控，一个加热炉可以组合不同高度的多个加热模块，实现任意的温场曲线，适应各种需要特殊的温度曲线的加热炉。