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一种可有效防止炉内污染的提拉法晶体生长炉

基本信息

申请号 CN201621428634.8 申请日 -
公开（公告）号 CN206319080U 公开（公告）日 2017-07-11
申请公布号 CN206319080U 申请公布日 2017-07-11
分类号 C30B15/00 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 李照存 申请（专利权）人 昆明沃特尔机电设备有限公司
代理机构 昆明知道专利事务所（特殊普通合伙企业） 代理人 昆明沃特尔机电设备有限公司
地址 650000 云南省昆明市盘龙区龙泉街道兴龙社区落索坡村310号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种可有效防止炉内污染的提拉法晶体生长炉，包括炉架和炉体，所述炉体上设置测温装置，所述炉体底部密封设置炉体座，炉体座固定设置于炉架上，所述炉体座上设置有熔融锅支撑杆，熔融锅支撑杆上设置熔融锅；所述炉体顶部密封设置的炉体盖上，设置有与熔融锅支撑杆相对且同轴的提晶杆，所述提晶杆下端设置籽晶夹持装置；炉体外部对应于熔融锅区域设置加热炉套，加热炉套上方设置保温套，保温套外部设置绝热套。本实用新型通过外移加热与控温组件、水冷炉体部件，大大降低了高温下炉体内挥发物产生而导致的炉内污染问题，有利于改善并掌控炉内长晶工况环境，提高并稳定晶体品质。