一种低阻尼电容式加速度传感器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201811294746.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109490575A | 公开（公告）日 | 2019-03-19 |
| 申请公布号 | CN109490575A | 申请公布日 | 2019-03-19 |
| 分类号 | G01P15/125（2006.01）I; B81C1/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘超然; 王益哨; 董林玺; 王高峰 | 申请（专利权）人 | 浙江宏振智能芯片有限公司 |
| 代理机构 | 杭州千克知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周希良 |
| 地址 | 313000 浙江省湖州市德清县舞阳街道德清地理信息小镇C区4幢201室（莫干山国家高新区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出一种低阻尼电容式加速度传感器及其制备方法，所述低阻尼电容式加速度传感器，由变间距式和变面积式两种电容结构组成。所述变间距式电容采用具有差分特性的梳齿状电极板结构，通过静电驱动方式减小电容可动极板和固定极板的间距，克服了干法刻蚀工艺对高深宽比梳齿状电极结构制备的难题，有效提高了所制备加速度传感器的初始电容；并在变间距式电容的固定极板上刻蚀倒三角形凹槽结构，与已报道的矩形凹槽结构相比，大大降低了空气阻尼并且具有较好的保真度。将变间距式和变面积式电容结构组合能够有效提高传感器的灵敏度、降低空气阻尼。本发明中的传感器初始电容大，阻尼小，噪声低，灵敏度高，制作工艺简单，可以降低成本。 |
