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一种ALD尾气热解组件以及抽气装置

基本信息

申请号 CN202120162212.5 申请日 -
公开（公告）号 CN214437719U 公开（公告）日 2021-10-22
申请公布号 CN214437719U 申请公布日 2021-10-22
分类号 B01D53/00 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 万军;王辉;廖海涛;王斌 申请（专利权）人 无锡市邑晶半导体科技有限公司
代理机构 北京众达德权知识产权代理有限公司 代理人 安磊
地址 214028 江苏省无锡市新吴区观山路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种ALD尾气热解组件以及抽气装置。其中的热解组件包括壳体、加热器、处理体以及固定体，加热器设置在壳体的周面外侧，处理体设置在壳体内，处理体设置有贯通的处置孔，处置孔的两端分别连接有输入管和输出管，输入管以及输出管分别穿出壳体的两端，处置孔内间隔设置有多个翅片，每个翅片的中部均设置有与输入管以及输出管连通的通孔，固定体设置在处理体以及壳体之间，固定体内设置有安装腔，安装腔呈环状，安装腔同轴设置在处置孔的外侧，安装腔靠近处置孔的内侧壁上缠绕有加热丝，加热丝和加热器连接。本实用新型可减少对环境的污染。