一种用于太阳能电池片钝化的晶体硅氧化处理设备
基本信息
| 申请号 | CN202120028733.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213936214U | 公开（公告）日 | 2021-08-10 |
| 申请公布号 | CN213936214U | 申请公布日 | 2021-08-10 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王泉龙;李琪;孙珠珠;周国栋 | 申请（专利权）人 | 徐州中辉光伏科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 220000江苏省徐州市沛县经济开发区昆明路南侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于太阳能电池片钝化的晶体硅氧化处理设备，属于太阳能电池片加工设备技术领域，一种用于太阳能电池片钝化的晶体硅氧化处理设备，包括壳体，壳体的内部中心处设有进气管，且进气管顶端延伸至壳体外，壳体的一侧设有高温蒸汽发生器，高温蒸汽发生器与进气管之间连接有通气管，通气管上设置增压泵，壳体的上表面固定有用于对通气管进行定位的管道定位架，可以实现同时对多个单晶硅片进行氧化处理，有效提升单晶硅的氧化处理效率，且利用特殊的转动喷气结构，使高温蒸汽分布更加均匀，并且高温蒸汽喷出时呈伞形扩散，进一步加速高温蒸汽的扩散，有效避免接触不充分影响氧化质量的现象。 |
