具有微结构的器件及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201810404729.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110407157A | 公开（公告）日 | 2019-11-05 |
| 申请公布号 | CN110407157A | 申请公布日 | 2019-11-05 |
| 分类号 | B81C1/00（2006.01）I; B81B1/00（2006.01）I; B82Y40/00（2011.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 李守军; 夏振 | 申请（专利权）人 | 张家港康得新装备科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 韩建伟;霍文娟 |
| 地址 | 215634 江苏省苏州市张家港市金港镇晨港路85号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种具有微结构的器件及其制作方法。该制作方法包括：步骤S1，在基底上设置气溶胶态、悬浮的液滴态和/或气态的光固化树脂，形成光固化树脂层；步骤S2，按照预定图案对光固化树脂进行固化；步骤S3，去除未固化的光固化树脂，固化的光固化树脂形成微结构。该制作方法中，由于未固化的光固化树脂为气态、悬浮的液滴态和/或气溶胶态，所以，无需进行刻蚀就能去除，过程简单，且避免了采用刻蚀法产生对环境有害的污水的问题，且去除的未固化的气态、悬浮的液滴态和/或气溶胶态的光固化树脂可以回收利用，产品利用率比较高。 |
