一种抗干扰晶圆测试机外壳
基本信息
| 申请号 | CN201720056109.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206431166U | 公开（公告）日 | 2017-08-22 |
| 申请公布号 | CN206431166U | 申请公布日 | 2017-08-22 |
| 分类号 | G01R1/04(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 付关军 | 申请（专利权）人 | 深圳市德欣电器有限公司 |
| 代理机构 | 北京同辉知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 魏忠晖 |
| 地址 | 518122 广东省深圳市坪山区龙田街道龙田社区莹展电子科技（深圳）有限公司园区3号厂房二楼（B3-b二楼） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种抗干扰晶圆测试机外壳，包括本体外壳和测试机，所述本体外壳的内顶部固定连接于探针台的上端，所述探针台上安装有探针卡，所述本体外壳内底部固定连接于支柱的底端，所述支柱固定连接于测试台的下表面，所述测试台的上表面通过负压吸附固定有转接板，所述转接板上电性连接有待测晶圆，所述探针台通过屏蔽信号线电性连接于测试机，所述测试机电性连接有显示模块。本实用新型可同时对MOS产品进行多工位检测，检测效率高；可以有效的对输出电压进行稳定，减小信号震荡，有利于检测结果的准确。 |
