一种用于高温加热的金属线结构的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110166578.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112960642A | 公开（公告）日 | 2021-06-15 |
| 申请公布号 | CN112960642A | 申请公布日 | 2021-06-15 |
| 分类号 | B81C1/00（2006.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 于海涛 | 申请（专利权）人 | 厦门海恩迈科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 郝传鑫;贾允 |
| 地址 | 361026福建省厦门市中国（福建）自由贸易试验区厦门片区嵩屿南二路99号1303室之708 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体技术领域，本发明公开了一种用于高温加热的金属线结构的制备方法。该制备方法包括如下步骤：在硅衬底上制备形成金属线层；在该金属线层上制备绝缘保护层，得到待退火结构；对该待退火结构进行退火处理。本申请提供的制备方法得到的金属线结构具有高温自加热功能及耐高温的特点。 |
