一种制备纯相多壳层Si2N2O空心球形粉体的系统和方法
基本信息
| 申请号 | CN202210226836.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114684797A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114684797A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | C01B21/082（2006.01）I;B01J8/26（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 耿玉琦;朱庆山;向茂乔;赵宇翔 | 申请（专利权）人 | 中国科学院过程工程研究所 |
| 代理机构 | 北京方安思达知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 100190北京市海淀区中关村北二条1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种制备纯相多壳层Si2N2O空心球形粉体的系统和方法。该方法通过硅源气与氮源气混合发生反应生成硅胺前驱体粉体，随后经过多次交替吸附硅源气和氮源气与控制增氧的方法获得双壳层球形含氧前驱体粉体，后续进行副产物脱除和热分解得到双壳层纯相Si2N2O空心球形粉体。本发明不仅解决了传统工艺难以获得高分散、高球形度的多壳层纯相Si2N2O球形粉体的难题，同时能够实现连续批量化制备，工艺流程简单，生产效率高。 |
