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一种基于柔性铰链的单自由度大行程纳米位移定位平台

基本信息

申请号 CN201711474293.7 申请日 -
公开（公告）号 CN108198588B 公开（公告）日 2021-05-11
申请公布号 CN108198588B 申请公布日 2021-05-11
分类号 G12B5/00 分类 仪器的零部件;
发明人 须颖;王慧峰 申请（专利权）人 三英精控（天津）仪器设备有限公司
代理机构 天津协众信创知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 房海萍
地址 301700 天津市武清区福源道北侧创业总部基地C21号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种基于柔性铰链的单自由度大行程纳米位移定位平台，包括平台主体，所述平台主体上有四条柔性铰链，并通过四条铰链将平台主体分为A区、B区、C区、D区四部分，所述A区为移动区，所述B区和C区为受力变形区，所述D区为固定区；所平台主体两端设有左盲孔和右盲孔，所述左盲孔的底部为光滑圆圆锥面，其内部安装有弹簧预紧组件，所述右盲孔的底部也为光滑圆圆锥面，其内部安装有压电陶瓷组件，所述弹簧预紧组件和压电陶瓷组件构成放大机构。本发明实现了小的竖向平台尺寸情况下比较大的竖向位移，可以满足空间较小但是要求竖向行程较大场合的需求。