一种晶圆检测高精度气浮运动平台及方法
基本信息
| 申请号 | CN202111374217.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114111691A | 公开（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申请公布号 | CN114111691A | 申请公布日 | 2022-03-01 |
| 分类号 | G01B21/24（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I;G01R1/02（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘浩;须颖;贾静 | 申请（专利权）人 | 三英精控（天津）仪器设备有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市尔逊专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 周盈如 |
| 地址 | 301700天津市武清区武清开发区福源道北侧创业总部基地C21号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种晶圆检测高精度气浮运动平台及方法，包括：基座；横梁，安装在基座上；滑台，可用于承载晶圆；直线电机，用于驱动滑台沿横梁滑动；传感器，具有至少三个，可用于检测晶圆的垂直直线度；气浮轴承，包括第一气浮轴承、第二气浮轴承以及第三气浮轴承，用于滑台的悬浮；补偿装置，基于传感器检测的实时数据，对晶圆的垂直直线度进行补偿。本发明可以消除基座因机械加工精度固有因素导致的运动平台垂直直线度不高、无法对平台运动过程中的垂直直线度进行检测和补偿的技术问题，极大地提高了晶圆运动过程中的垂直直线度。 |
