一种锂离子电池生产用硅片清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202021327619.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213051821U | 公开（公告）日 | 2021-04-27 |
| 申请公布号 | CN213051821U | 申请公布日 | 2021-04-27 |
| 分类号 | B08B3/12;B08B3/10;B08B3/04;B08B13/00;H01L21/67 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 张文博 | 申请（专利权）人 | 湖北宇电能源科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 武汉智嘉联合知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 熊军 |
| 地址 | 431700 湖北省天门市经济开发区发展大道 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种锂离子电池生产用硅片清洗装置，包括壳体，所述壳体的左侧设有预清洗池，且预清洗池的底部设有放置板，所述放置板上放有花篮，且放置板的底部设有伸缩杆，所述预清洗池的右侧为清洗池，且清洗池的底部设有超声波发射器，所述清洗池的右侧壁上设有液体扇，且液体扇的转轴与电机的输出轴连接，所述液体扇的上方设有电磁感应线圈，所述壳体的右端外壁上设有控制台，且控制台的下方设有多个指示灯，所述壳体的顶部设有烘干机。本实用新型通过将预清洗池、清洗池、干燥装置设置在同一个装置中，减少了人工转移的工作量，同时也避免了硅片暴露在空气中。 |
