光刻胶生产废气有害气体吸收装置
基本信息
| 申请号 | CN201921983504.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211487132U | 公开（公告）日 | 2020-09-15 |
| 申请公布号 | CN211487132U | 申请公布日 | 2020-09-15 |
| 分类号 | B01D53/40(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 王鸿岩;孙浩 | 申请（专利权）人 | 辽宁靖帆新材料有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳鼎恒知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵月娜 |
| 地址 | 111000辽宁省辽阳市灯塔市经济技术开发区管理委员会办公楼113室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种光刻胶生产废气有害气体吸收装置，其技术要点是：由依次连通的冷凝分离单元、水喷淋单元、碱液喷淋单元和活性炭吸附过滤单元组成，冷凝分离单元包括与NAS‑5脱水罐顶部出气管线连通的分离罐、设于分离罐内上部的冷凝液循环管路、设于分离罐内下部的热利用循环管路、与分离罐底部连通的积液罐，热利用循环管路与NAS‑5脱水罐外部加热水管连通，积液罐的上部设有与NAS‑5脱水罐顶部出气管线连通的回液管路，回液管路上设有单向阀，分离罐对应热利用循环管路下方的位置设有进气口。本实用新型结构更为合理、使用节能环保，在对有害气体进行有效祛除的同时，充分利用尾气中的热量，并有效减少NAS‑5流失。 |
