电容式相对湿度传感器
基本信息
| 申请号 | CN03131858.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN1203312C | 公开（公告）日 | 2005-05-25 |
| 申请公布号 | CN1203312C | 申请公布日 | 2005-05-25 |
| 分类号 | G01N27/22 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 顾磊;黄庆安;秦明;张中平 | 申请（专利权）人 | 无锡市杰德感知科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 东南大学;无锡市杰德感知科技有限公司 |
| 地址 | 210096江苏省南京市四牌楼2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明是一种用于湿度信号传感的电容式相对湿度传感器，由衬底，氧化层、电容电极组成，氧化层设在衬底上，电容电极设在氧化层上方，在电容电极上设有电极引线，该电容电极为其材质适于标准CMOS加工工艺的电极，在电容电极上设有钝化层。本发明采用铝电极梳状并联结构可以增加敏感电容值，将衬底可靠接地消除了外界的干扰，提高湿度传感器的精度。淀积钝化层能够有效防止环境中的水汽尤其是聚酰亚胺吸水后，聚酰亚胺中的水汽腐蚀铝电极，提高可靠性。利用梳状并联多晶硅作为加热电路，使湿度传感器的脱附时间更短，同样提高了可靠性。利用聚酰亚胺作为感湿介质，灵敏度高，线性度、滞回特性好，长期可靠等优点。 |
