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一种新型蒸发舟夹持结构

基本信息

申请号 CN202020292463.0 申请日 -
公开（公告）号 CN211814628U 公开（公告）日 2020-10-30
申请公布号 CN211814628U 申请公布日 2020-10-30
分类号 C23C14/26(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I 分类 -
发明人 赵锐;陈清胜 申请（专利权）人 四川海格锐特科技有限公司
代理机构 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 代理人 邓芸
地址 610100四川省成都市经济技术开发区世纪大道515号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种新型蒸发舟夹持结构，涉及镀膜设备技术领域，本实用新型包括水冷蒸发底板、设置在水冷蒸发底板下方的支撑柱和设置在水冷蒸发底板上的蒸发槽，蒸发槽内对称错位设置有两排用于夹持蒸发舟结构相同的正负极夹持组件，两组正负极夹持组件均包括蒸发阴极和蒸发阳极，水冷蒸发底板上设置有两组可以调节对应蒸发阳极位置的弹性调节组件，每个弹性调节组件包括用于安装各自蒸发阳极的复合安装架和安装在水冷蒸发底板下方用于拉紧复合安装架的弹性夹紧机构；本实用新型具有结构简单，夹紧的可靠性提高，不用每一个工作周期对蒸发舟进行调整，所以提高了蒸发舟的使用寿命，保证了生产效率，提高了产量和质量，节约生产成本的优点。