防止主辊被蒸镀物质污染的摆动式蒸发屏蔽框

基本信息

申请号 CN201920274831.6 申请日 -
公开(公告)号 CN209602636U 公开(公告)日 2019-11-08
申请公布号 CN209602636U 申请公布日 2019-11-08
分类号 C23C14/56(2006.01)I; C23C14/24(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 陈清胜; 赵锐 申请(专利权)人 四川海格锐特科技有限公司
代理机构 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 代理人 吴静宜
地址 610000 四川省成都市龙泉驿区龙泉街道翠龙街66号10层附1032号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了防止主辊被蒸镀物质污染的摆动式蒸发屏蔽框,包括转轴、支撑框和驱动装置,转轴的两端由轴承座进行支撑,驱动装置驱动转轴绕自身轴线转动,支撑框通过连接板与转轴连接,在支撑框上位于转轴轴线的两端均滑动设置有屏蔽板,屏蔽板位于竖框边之间,屏蔽板能沿转轴的轴线滑动,屏蔽板的两侧分别各与一个竖框边接触,屏蔽板互相靠近时,支撑框的内部被屏蔽板覆盖的面积逐渐增大。本实用新型解决了在蒸镀工艺中,蒸镀物会污染主辊的问题。在主辊的下方设置一可以摆动的蒸发屏蔽框,在屏蔽框两端用于滑动连接屏蔽板的轨道结构,将活动挡板设置于轨道上,可以滑动调节屏蔽段遮挡主辊的长度,以适应不同幅宽基膜的镀制要求。